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電源模塊或者電源板：燒壞、短路、無輸出、輸出電壓高于標稱值、輸出電壓低于標稱值、過熱、死機等故障。

工業電源維修范圍：AE電源維修，美國MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE電源維修，AE電鍍電源維修，AE射頻電源維修，電鍍高頻電源維修，刻蝕射頻電源維修，RE射頻電源維修，PECVD射頻電源維修，大功率工業電源維修，UPS電源維修等各行業工業用電源維修

射頻電源設備維修：刻蝕，RIE,PECVD,ICP,射頻濺射，CVD和PVD等系統.

高壓電源維修的時候，我們首先需要利用萬用表檢測一下各功率器件是否存在擊穿短路，例如電源整流橋堆、開關管、高頻大功率整流管、抑制浪涌電流的大功率電阻是否燒斷等，然后需要再檢測各輸出電壓端口電阻是否異常，如上述器件有損壞的情況我們則需要進行更換新的器件。