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RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修 1、AE(ADVANCED ENERGY)射頻電源/直流電源 2、MKS ENI射頻電源/直流電源 3、DAIHEN射頻電源 4、KYOSAN射頻電源/直流電源

一、RF Generator射頻電源維修和配套直流電源維修

1、AE（ADVANCED ENERGY）射頻電源/直流電源

2、MKS ENI射頻電源/直流電源

3、DAIHEN射頻電源

4、KYOSAN射頻電源/直流電源

5、COMDEL射頻電源

6、ADTEC射頻電源

7、SEREN射頻電源

二、RF MATCH(射頻電源匹配器維修)

1、AE（Advanced Energy） Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN  RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高壓電源維修

1、HiTek Power supply高壓電源維修

2、ADVANCE HIVOLT高壓電源維修

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高壓電源維修

4、GLASSMAN高壓電源維修

5、SPELLMAN高壓電源維修

6、Varian高壓電源維修

7、其他品牌高壓電源維修

四、直流電源

1、LAMDBA ESS/EMI直流電源維修

2、Delta ELEKTRONIKA直流電源維修

3、SORENSEN直流電源維修

4、AMETEK可編程電源維修

5、POWER TEN直流電源維修

6、燈絲電源、X射線電源維修

7、曝光燈電源USHIO維修（Mercury lamp power supply）

五、微波電源發生器維修

1、ASTeX AGL系列微波電源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波電源

3、ASTeX Smart Match